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AQS系列全自动清洗甩干机


  AQS系列全自动清洗甩干机是根据国际半导体产业和光伏产业的发展和市需求而研发的全自动清洗甩干设
备,具有高洁净度旋转清洗甩干功能。主要用于硅圆片、太阳能电池等类似材料的清洗甩干。是光伏、半导
体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。
  AQS系列机型针对不同用户、不同工艺要求、不同应用场合开发了系列化机型。用户可按自已的要求和不
同工艺选择适合自已的机型型号和功能配置要求。
系统构成
  整机采用4、6或8工位式组合结构,适用于103mm,125mm, 156mm三种规格的硅片,实现包括旋转清
洗甩干、氮气烘干、腔体干燥、工作完成自动开门、工况显示和故障报警在内的全自动工艺处理过程。
结构与特点
外观新颖、简洁、流畅。主要部件采用不能磁化的不锈钢材料。

工作过程中,清洗工作腔与外界密封隔离。

工作腔、旋转支架及载片架均采用耐腐蚀不锈钢,表面经特殊严电化学处理;

旋转机构经精密的动、静平衡校验,保证系统工作时的平衡性、减少振源的产生。

精密的动、静平衡保证使得放硅片盒夹具与甩干机的位置无需一一对应,操作方便。

采用宽频率的特种阻尼器,精密减震及阻尼。使系统具有良好的减震效果。

采用国优名牌驱动电机,进口变频器,提速平稳;采用磁力平衡制动,速度快,制动平均时间小于20秒。

特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换控制。

管道、阀门、接头采用304不锈钢、聚四氟材料和高纯管件。

采用气缸实现自动开门手动关门,平稳安全可靠。

工作中采用防静电控制。

顶盖采用硅橡胶加热板辅助加热系统,保证顶盖烘干后干燥不滴水。

控制系统
采用PLC可编程控制器及保色触摸显示屏.程序控制智能化。

程序设计可靠。速度调节,温度调节,时间调节等每道程序指令用户都可以在触摸屏上任意设定、修改、保存。

运行过程、内容、信息(包括故障信息)在工作过程中均在触摸显示屏汉显,操作人员对设备的工艺步骤、运行状态一目了然。

采用电子变频调速技术无级调速,速度提升变换稳定。

系统软件具有故障实时显示及报警功能。

所有电控元器件均采用国际国内品牌。

安全与保障
采取了水、气过程状态监控、门位置状态监控与互锁、氮气加热温度实时监控、紧急停止开关等相关措施;

采用微处理器检测实时工作状态。具有关门故障报警、超温报警、驱动电机过载报警、低油位报警、制动故障报警、多种传感器故障报警等;

具有整机漏电保护装置和接地端子。

型号

AQS-4

AQS-6

AQS-8

工作腔数量

4工位

6工位

8工位

硅片规格

103mm125mm150mm

旋转速度

50-900r/min无级可调

氮气压力

03Mpa

去离子水压

03Mpa

电阻率监控

可选

氮气密封

/氮气烘干

氮气加热方式

油加热/电加热

加热温度

室温+20-120℃(P.I.D控制)

辅助加热系统

腔体表面处理

亚光电化学

控制系统

PLC可编程控制器(带温度模块)

控制显示器

57英寸人机交互彩色液晶触摸屏

输入电源总功率

4kw

5kw

6.5kw

外型尺寸(长×宽×高)

1200×1000×1000

1300×1100×1000

1400×1200×1000

输入电源

AC380V(三相四线制)

 

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