联系我们

CONTACT US

销售部:(0510)85434848

销售部:(0510)85434949

售后服务部:(0510)85434747

传真:(0510)85424848

行政部:(0510)85431217

销售部:sales@wxnanya.com.cn

技术部:technic@wxnanya.com.cn

地址:江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区107号

产品信息

当前位置: 首页 > 产品信息
TAC-100 全自动硅片插片机




一、主要参数

1. 外形尺寸    2800L×2200W×2100H(mm)

2. 花篮规格    100片

3. 硅片尺寸    156mm

4. 硅片厚度    150~200um   

5. 适用硅片    砂浆线(单晶硅、多晶硅)、金刚线(单晶硅、多晶硅)。

6. 发片效率    7000片/小时(未包含换盒及上料时间)

7. 碎片率      ≤0.2% (除硅片自身原因)

8. 控制系统    PLC可编程控制器,交流伺服系统

9.照像系统     检测碎片和叠片并自动分选

10.气压        0.5~0.55Mpa 干燥气体

11.气源流量    进气管口径≥10mm

12.电源        AC220V(单相三线)、50HZ

13.设备功率    3.0KW

二.特点介绍

1. 硅片带离原理:

我们摒弃常规直接吸取硅片方式而是通过吸水(硅片和输送带始终有一定的间距),使得分离后的硅片会顺着水流方向靠向输送带无接触式带离,对硅片无任何损伤。同时该技术已为超薄(<140mm)的硅片使用全自动插片机奠定了基础;

分片机构可对任何状态的硅片进行均匀分离;

以上二项技术南亚自行研发,并已申请二项发明专利。

2.硅片的带片速度取决于输送带的转速,非开关模式的运行模式连续又平稳;转速根据工况设定(通常分片速度为7000/小时);

3.带片/上料部分结构简易合理;水下几乎无运动部件,极大地减少使用过程中对设备的维护保养工作;

4.硅片上料盒可在前道工序脱胶后直接装入硅片,减少周转环节,方便操作人员实现一人多机工作;

5.异常硅片经视觉系统判断后采用硅片分选机原理,对异常硅片识别后自动分离;

6.为避免水路堵塞,水箱带过滤功能,水路带反冲功能。

三.控制系统

1. 采用三菱可编程控制器,功能齐全运行可靠;

2. 运行模式和程序参数均可在触摸屏上设定 ;

3. 配置三菱交流伺服系统进行高精度定位;

4. OMRON高灵敏度传感器监控,实现设备完备的系统运行保障;

5. 动态日志管理;

6. 故障监控、诊断、报警及设备保养需求的自动生成。

 四.视觉系统

1. 德国堡盟(Baumer)视觉系统对输送过程中异常硅片进行视觉判断。基于轮廓的工作模式,360°目标识别功能确保全面、可靠的特征检查

2. 硅片异常的范围(精度)用户可根据实际需要自行设定;

3. 采用红外光源,减小外部光源对检测结果的影响;

4. 支持IE浏览器远程查看


上一页:全自动硅片插片-清洗一体机
下一页:TAC-5000全自动硅片插片机
    
地址:江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区107号   电话:0510-85434848   邮箱:sales@wxnanya.com.cn   邮编:214024
Copyright ©2011 无锡市南亚科技有限公司 All Rights Reserved 苏ICP备:05068386号
友情链接: 化工泵 环境试验箱 化工制氮机 链板秤 绝缘材料 上海臭氧老化试验箱 激光切割加工 齿座 精密活塞杆 煤气发生炉 不锈钢轴承 灰库设备 金刚砂